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SYSC-100A 高精度程控勻膠機(jī)
一. 產(chǎn)品應(yīng)用
SYSC-100A 高精度程控勻膠機(jī)(Spin Coater),又稱為旋轉(zhuǎn)涂膜儀,是一代旋轉(zhuǎn)涂膜設(shè)備。具有速度精度高、轉(zhuǎn)速穩(wěn)定、旋轉(zhuǎn)加速度可控、勻膠過程多段程序控制等特點(diǎn)。主要用于微電子、半導(dǎo)體、太陽能電池、新能源、生物材料、光學(xué)器件等領(lǐng)域的表面涂膜工藝,例如各類納米薄膜材料、光阻涂層、生物功能涂層的制備。
二. 產(chǎn)品特點(diǎn)
1. 旋轉(zhuǎn)電機(jī)采用專為勻膠機(jī)設(shè)計(jì)的精密高速伺服電機(jī)。
2. 優(yōu)異的旋轉(zhuǎn)加速性能,Z大旋轉(zhuǎn)加速度可達(dá)40000rpm/s(有負(fù)載的真實(shí)加速度)。
3. 兩項(xiàng)安全互鎖功能:
(1) 勻膠腔體具有開啟、關(guān)閉的檢測(cè)功能,確保腔體關(guān)閉后才可啟動(dòng),防止勻膠過程中飛片造**身傷害;
(2) 真空吸片具有真空檢測(cè)功能,若發(fā)生真空泄漏,基片無法吸附牢固,則立即停止運(yùn)行。
4. 機(jī)身外殼采用SUS304不銹鋼制作,防腐蝕、不生銹、易清潔。
5. 勻膠腔體采用德國勞士領(lǐng)NPP材料,經(jīng)CNC一體加工成型。接儲(chǔ)脫離基片的膠液,避免進(jìn)入真空管路和設(shè)備內(nèi)部。耐腐蝕、易清潔。
6. 旋轉(zhuǎn)吸片臺(tái)采用德國勞士領(lǐng)PEEK材料,經(jīng)CNC一體加工成型。耐高溫、耐腐蝕、不變形。
7. 勻膠過程全自動(dòng)分段程序控制。整個(gè)勻膠過程Z多可分十段進(jìn)行,每段的加速時(shí)間、旋轉(zhuǎn)速度、勻膠時(shí)間均可精密控制、連續(xù)可調(diào)??蓛?chǔ)存50組工藝程序,隨時(shí)調(diào)用。
8. 7英寸液晶觸摸屏使控制更方便;運(yùn)行狀態(tài)及各項(xiàng)參數(shù)實(shí)時(shí)顯示,更直觀了解勻膠進(jìn)程;
9. 真空泵的開啟與關(guān)閉均為自動(dòng)程序控制,無需手動(dòng)操作。
10. 旋轉(zhuǎn)前增加預(yù)吸片步驟,“預(yù)吸片時(shí)間"Z多為99s,確?;喂涛接谛D(zhuǎn)臺(tái)后再進(jìn)行旋轉(zhuǎn)涂膜。勻膠完成后增加解吸片步驟,“解吸片時(shí)間"Z多為99s,確保安全停止后再切斷真空,釋放基片,防止涂膜后的基片滑落,對(duì)膜層造成損傷。
11. 標(biāo)配無油真空泵,低噪音。大吸力將基片緊緊吸附于旋轉(zhuǎn)臺(tái),防止飛片。
三. 技術(shù)參數(shù)
產(chǎn)品型號(hào)SYSC-100A
可鍍膜基片尺寸?10~100mm
旋轉(zhuǎn)速度10~8000rpm
轉(zhuǎn)速分辨率1rpm
速度精度<0.02%
旋涂加速度*0~40000rpm/s
每段加速時(shí)間999.9s
每段旋涂時(shí)間9999.9s
時(shí)間分辨率0.1s
預(yù)吸片時(shí)間99s
解吸片時(shí)間99s
**大旋涂加速度為有負(fù)載條件下(使用≤?50mm基片)的真實(shí)加速度.
PCM話路特性測(cè)試儀 型號(hào):GT2B
詳細(xì)介紹
GT2B型PCM話路特性測(cè)試儀主要特點(diǎn):
● 手持式話路特性分析儀;
● 全中文菜單,大屏幕顯示,操作簡便;
● 可進(jìn)行多任務(wù)工作(可以邊測(cè)試邊翻閱以前的記錄);
● 內(nèi)建測(cè)試模板,圖形顯示;
● 內(nèi)置直流環(huán)路饋電電路和直流環(huán)路保持電路;
● 符合人體工程學(xué)的設(shè)計(jì),智能導(dǎo)航式中文操作界面,操作簡單方便;
● 大屏幕液晶顯示,320×240點(diǎn)陣,LED背光;
● 帶高速微型打印機(jī)和外接打印機(jī)接口;
● 嵌入式軟件可在線升級(jí)。
基本功能:
● 點(diǎn)電平、頻率特性、電平特性、量化失真、空閑噪聲、路際串話、回波衰耗、對(duì)地平衡度測(cè)試;
● 端對(duì)端測(cè)試,環(huán)回測(cè)試;
● 單路或30路自動(dòng)測(cè)試,并以報(bào)表形式打印
● 全自動(dòng)模式、手動(dòng)模式,全自動(dòng)模式可選擇測(cè)量指標(biāo)中的一項(xiàng)、幾項(xiàng)或全部,測(cè)試步長可編程;
● 可存儲(chǔ)多達(dá)60組測(cè)量結(jié)果;*高達(dá)9個(gè)測(cè)試設(shè)置存儲(chǔ);并可進(jìn)行掉電記憶;
● 內(nèi)置發(fā)生器和接收器,輸出口和接收口分別帶有直流環(huán)路饋電電路和直流環(huán)路保持電路,不僅可測(cè)E&M二/四線接口,還可測(cè)LGE、FXO,LGS、FXS接口;
● 測(cè)試結(jié)果圖形顯示,可以和內(nèi)建的ITU-T標(biāo)準(zhǔn)模板比較,合格與否一目了然;
● 存儲(chǔ)測(cè)量結(jié)果可以上傳至PC機(jī),進(jìn)行分析、整理、歸檔、打印輸出.
技術(shù)指標(biāo):
● 發(fā)生器 信號(hào)頻率:100Hz~4000Hz,步長10Hz
輸出電平:+6~-61dBm0,步長1dB
相對(duì)電平:+1~-17dBr,步長0.1dBr
失 真 度:在1020Hz/0dBm0,≥50dB
頻率響應(yīng):±0.1dB
輸出阻抗及回波損耗:在200~3600HZ內(nèi)輸出阻抗為600Ω,回波損耗≥36dB
輸出平衡度:在200~3600Hz內(nèi)平衡度≥60dB
● 接收器
·電 平 頻率范圍:200Hz~3600Hz
電平范圍:+13dB~-78dB,其中 dBm0為 +6~ -61dBm0, dBr為+7~-17dBr
測(cè)量誤:0dBm0點(diǎn)為±0.2dB,其它各點(diǎn)為±0.3dB
參考信號(hào):1020Hz/-10dBm0
·頻率響應(yīng) 參考信號(hào):1020Hz/-10dBm0
頻率范圍:200Hz~3600Hz
測(cè)量范圍:-60dB~+60dB
測(cè)量精度:±0.2dB
·電平特性 參考信號(hào):1020Hz/-10dBm0
電平范圍:+5dBm0~-60dBm0
測(cè)量范圍:-60dB~+60dB
測(cè)量誤差:±0.2dB
·空閑噪聲 輔助信號(hào): 關(guān)閉
測(cè)量范圍:-90dBm0 p~+5dBm0 p,ITU-T加權(quán)
測(cè)量誤差:-90 ~ -75dBm0p:±2.5dB
-75 ~ -70dBm0p:±1.5dB
-70 ~ +5dBm0p:±1dB
·路際串話 主串信號(hào): 1020Hz/0dBm0
測(cè)量范圍: -90dBm0~+5dBm0
誤差范圍: ±1 dB
·量化失真 參考頻率:820Hz;
電平范圍:+5dBm0~-60dBm0
測(cè)量范圍:0~60dB,ITU-T加權(quán)
測(cè)量精度:±0.8dB
·回波衰耗 測(cè)試用信號(hào)頻率范圍:200Hz~3600Hz,電平0dBm0
測(cè)量范圍:0dB~62dB
測(cè)量誤差:±1dB
·對(duì)地平衡度 測(cè)量用信號(hào)頻率范圍:200Hz~3600Hz,電平:0dBm0
測(cè)量范圍:0dB~82dB
測(cè)量誤差:±1dB
·輸入阻抗及回波損耗:在200~3600HZ內(nèi)輸入阻抗為600Ω,回波損耗大于等于36dB;
·輸入平衡度:在200~3600Hz內(nèi)平衡度大于等于60 dB;
·接口平衡:600Ω,200Ω+560Ω//0.1UF ; 200Ω+680Ω//0.1UF;
·相對(duì)電平:-17~+7dBr,步長0.1dBr;
·直流環(huán)路:IGT動(dòng)態(tài)阻抗 >100KΩ,環(huán)路電流*大60mA,環(huán)路壓降約為-15V;
OGT動(dòng)態(tài)阻抗>100KΩ,饋電電流恒流22mA。
其它參數(shù):
● 供電:
(1)本儀表專用電源適配器
INPUT:AC220V 50Hz
OUTPUT:DC 9V 1A
(2)儀表內(nèi)部充電電池
4000mAh 6V 鎳氫可充電電池
工作時(shí)間:6小時(shí)
充電:關(guān)機(jī)時(shí)充電8小時(shí);開機(jī)時(shí)充電12小時(shí)
● 打印機(jī):μP40-TS(CH)標(biāo)準(zhǔn)電平串口漢字微型打印機(jī)(選配)
● 尺寸和重量:
長×寬×高:220×162×48mm
重 量:1kg
● 環(huán)境參數(shù):
操作溫度: 0~40℃
儲(chǔ)藏溫度: -20~+70℃
濕 度: 5%~90%非凝結(jié)
產(chǎn)品咨詢
全國統(tǒng)一服務(wù)電話
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