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射頻磁控濺射鍍膜裝置 型號:RT-RM-1 技術(shù)參數(shù)

更新時間:2016-03-03      點擊次數(shù):677
 

射頻磁控濺射鍍膜裝置 型號:RT-RM-1

 

主要用途:本設(shè)備主要用于大專院校研究和開發(fā)納米級單層膜;如各種硬質(zhì)膜、金屬膜;也可以是非金屬、化合物等薄膜材料??梢赃M(jìn)行直接濺射,亦可以實現(xiàn)反應(yīng)濺射。

 

主要特點:結(jié)構(gòu)簡捷、操作簡便,真空度維護(hù)高,安全可靠。

 

鍍膜機應(yīng)安裝在干凈無塵埃、無腐蝕性氣體的室內(nèi),并具備清潔水源、及220V的穩(wěn)定電壓等條件的地方。

1、地面的基本水平度要經(jīng)過調(diào)整,不得高低不平;

2、環(huán)境溫度:10℃~30℃;

3、相對濕度:不大于75%;

4、耗水量(進(jìn)水溫度≤25℃,2.5Kg≥水壓≥1.5Kg):約0.2T/h;

5、水質(zhì)要求:

矽酸硬度<6度,PH值:78,電導(dǎo)率:200us/cm,沉積率:<200mg/L。

6、電壓: 220V,50HZ,

電壓波動范圍: 198231V;

頻率波動范圍:4951Hz;

7、水壓:0.31Kg/cm20.030.1MPa/cm2;

8、充入氣體純度99.9%或以上;

9、鍍膜用耗材純度99.9%或以上。

 

設(shè)備規(guī)格參數(shù)

1.1、濺射處理室:

1、鐘罩:內(nèi)徑225mm×高度260mm;

2、試樣臺:直徑80mm(zui大);

3、試樣旋轉(zhuǎn):靜止;

4、擋板:手動;

5、襯底加熱器:不銹鋼加熱器(DC24V);

6、襯底溫度范圍:室溫~200℃;

7、襯底可調(diào)距離:20mm~60mm;

8、濺射室限真空:0.5Pa

1.2、真空系統(tǒng):

1、抽氣系統(tǒng):由機械泵組成的一級真空系統(tǒng);抽氣速率:4升/S

2、真空檢測:電阻真空計、電阻規(guī);

3、常用真空度:1~20Pa

4、操作:手動

1.3、濺射電源:

1、射頻電源:頻率13.560MHZ,功率:500W,用表指示;

2、阻抗匹配器范圍:(2.7~45)Ω-j(0~70)Ω;

3、供電:AC 220V;

4、冷卻方式:風(fēng)冷;

1.4、 磁控靶:

1、靶材直徑:Ф50mm、 一個永磁靶;

2、靶材厚度:3~6mm;

1.5、進(jìn)氣系統(tǒng):2路轉(zhuǎn)子流量計進(jìn)氣,

1.6、電源要求:AC 220V 50Hz 10A

1.7、氣體要求:氬氣--純度99.9%(樣品有特殊要求時使用高純)

1.8、冷卻要求:靶體水冷,濺射電源風(fēng)冷

1.9、體積重量:體積:L550mm×W680mm×H1480mm;約120kg

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