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勻膠顯影機(jī)

更新時(shí)間:2018-09-04      點(diǎn)擊次數(shù):6145

勻膠顯影機(jī) 型號(hào):SC100-DE
  SC100-DE勻膠顯影機(jī)是一種既可用于精密勻膠操作,又可用于半導(dǎo)體顯影和清洗的臺(tái)面式設(shè)備,它可以實(shí)現(xiàn)價(jià)值百萬美元設(shè)備(track)的上才可能達(dá)到穩(wěn)定性和均勻性。 
 主要性能指標(biāo): 
主機(jī)機(jī)箱采用不銹鋼材料(抗化學(xué)腐蝕易清潔)  
旋涂程序:多可存100組程序,每組100步,每個(gè)步驟可到0.1秒  
轉(zhuǎn)動(dòng)速度:0-10,000rpm(更高速可選)  
旋涂加速度:0-50,000rpm/sec(空載)  
馬達(dá)旋涂轉(zhuǎn)速穩(wěn)定性能誤差 < ±1rpm  
轉(zhuǎn)速調(diào)節(jié)精度<1rpm,重復(fù)性< 1rpm  
工藝時(shí)間設(shè)定: 0-3,000 sec/step,時(shí)間設(shè)置精度:0.1sec  
支持wafer尺寸1cm-200mm(8“圓晶)  
標(biāo)準(zhǔn)配置兩路噴液系統(tǒng)(顯影液和去離子水) 


 

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